一种三重旋转涂层装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种三重旋转涂层装置，解决现有技术中存在载物量小、工作效率低的缺点，包括底座和驱动主轴，所述底座的顶部分别通过螺栓固定连接有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆的端部焊接有内圈，所述第二支撑杆的一侧焊接有外圈，通过内圈、第二环形齿条、第一自转齿轮、第二自转齿轮等结构的设置，该涂层装置在设备中增设了一个内圈和用于承载工件的多个夹具，在不改变其他投入成本的情况下，增大了涂层装置的载物量，空间利用率高，结构紧凑，一次性可完成多个数量的涂层处理，大大地提高了设备的工作效率，适合推广使用。