扫描显微镜和用于光学扫描一个或多个样本的方法

摘要

本发明涉及扫描显微镜形式的装置，用于显微镜的结构单元形式的装置以及用于光学扫描一个或多个样本的方法和装置。扫描显微镜形式的装置具有发射照明光束（32）的光源（42）。聚焦光学系统（24）将所述照明光束（32）聚焦到样本（36）的待检查区域上。致动器装置根据预定扫描模型垂直于照明光束（32）的中轴和/或相对于包括聚焦光学系统（24）的结构单元（20）的外壳移动所述聚焦光学系统（24）。