一种芯块几何尺寸及密度自动测量系统

摘要

本实用新型涉及一种芯块几何尺寸及密度自动测量系统，该系统包括上下料机构、测量平台和工控机；上下料机构包括上料盘、机械手和下料盘；测量平台设置有尺寸测量模块、称重模块和粗糙度测量模块；尺寸测量模块包括工业相机和远心镜头，远心镜头设置在工业相机底端，朝向芯块；工业相机拍摄芯块图像，并将芯块图像传输至工控机已确定芯块的几何尺寸；几何尺寸包括直径、高度、垂直度和倒角宽度、高度；称重模块和粗糙度测量模块分别检测芯块的重量和粗糙度，并将检测结果分别传输至工控机；工控机根据几何尺寸和重量计算获得芯块密度。本实用新型提高了芯块几何尺寸的检测精度，并同时检测了芯块表面的粗糙度，提高了检测效率。