一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚

摘要

本实用新型公开了一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。本实用新型使得点源坩埚的筛网装置具有通用性，能适应不同内径尺寸的点源坩埚而避免浪费，同时能防止SiC颗粒飞溅。