一种RH真空处理顶枪密封段

摘要

本实用新型提供一种RH真空处理顶枪密封段，采用拆卸式盘根存储槽，在盘根存储槽内增设Z字形活动式盘根存储套，盘根存储套由抬升沿、内槽和提拉台组成，盘根存储套的内槽外壁贴靠安装在盘根存储槽内壁上，内槽里侧叠放有盘根，最下端的盘根落放在盘根存储套的提拉台上，盘根存储套和盘根通过上压盖固定在盘根存储槽内。本实用新型无需深入密封段内部手动更换盘根，无需移动真空室即可实现盘根的快速更换，用时仅需10分钟左右，在确保作业安全的前提下，提高作业效率和生产计划的执行率。