氮化物合成盛料盘及氮化物合成设备

摘要

一种氮化物合成盛料盘，其中所述盛料盘包括下底面和上表面，盛料盘具有一从上表面向下开设的凹形空间，还具有从上表面向下开设的多个凹槽。本实用新型还提供一种包含该盛料盘的氮化物合成设备。本实用新型的盛料盘通过开设凹槽以及形成的凹形空间，保证料盘内部的原料处于稳定的氮气气氛，提高渗氮效率。