一种晶体生长设备用波纹管组件

摘要

本实用新型涉及晶体生长设备上采用的波纹管组件，具体地说是一种晶体生长设备用波纹管组件，波纹管连接于上端法兰与下端法兰之间，上端法兰上开设有炉底板安装槽，石墨拖杆由下端法兰、波纹管及上端法兰上的炉底板安装槽穿过；上端法兰内部设有循环水道，循环水道分别设置有进、出水口，进、出水口分别通过外置管路与外界设置的循环泵相连通；波纹管与石墨拖杆之间设有防止硅液接触到波纹管内壁的防溅装置，防溅机构安装于上端法兰上，或安装于上端法兰与下端法兰之间。本实用新型大幅降低了热量的传递，减少了波纹管因高温变形影响使用的现象发生，还确保了高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管的内壁。