一种钟罩式化学气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种钟罩式化学气相沉积炉，包括底座、第二炉体、第一连接齿轮和电机，所述底座的上方设置有第一炉体，且第一炉体的顶部连接有炉盖，并且炉盖的上方设置有连接口，所述第二炉体设置于第一炉体的内部，且第二炉体的顶部安装有固定板，并且固定板通过凹槽与密封套环相连接，所述凹槽开设于密封套环的底部，且密封套环通过连接板与炉盖相连接。该钟罩式化学气相沉积炉，第二炉体内部设置有连接杆，且连接杆左侧连接的刮板和第二炉体为贴合连接，当第二炉体转动时，可以通过刮板将第二炉体内壁上留有的杂质进行刮除，实现对第二炉体进行清理的目的，为工作人员的操作带来便利。