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用于第三方支持装备的预测性维护

摘要

在制造环境中,服务器在第三方支持装备的操作期间自第三方支持装备中接收装备数据。服务器经由第三方支持装备上的第一端口接收装备数据。第三方支持装备经由第三方支持装备上的第二端口与处理工具相通信。基于装备数据,服务器决定第三方支持装备的未来状态,并且通知用户第三方支持装备的未来状态。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-07-06

    授权

    授权

  • 2013-08-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 23/00 申请日:20111130

    实质审查的生效

  • 2013-07-10

    公开

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