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公开/公告号CN103201691B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201180053750.X
发明设计人 J·R·斯威耶尔斯;M·耶达托勒;T·L·戴维斯;D·特纳;M·W·约翰逊;
申请日2011-11-30
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆嘉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:42:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-06
授权
2013-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 23/00 申请日:20111130
实质审查的生效
2013-07-10
公开
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