公开/公告号CN209809554U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-12-20
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江新锐空分设备有限公司;
申请/专利号CN201821776851.5
申请日2018-10-31
分类号
代理机构杭州九洲专利事务所有限公司;
代理人翁霁明
地址 313200 浙江省湖州市德清县德清工业园(田心路1号)
入库时间 2022-08-22 11:50:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-20
授权
授权
机译: 氙气和氪氪收集装置,用于在半导体制造工艺中使用用于氙的滤波器单元,用于在半导体制造过程中使用的氙和氪收集装置
机译: 从空气分离单元中回收不可凝聚气体的系统和方法,例如氖,氦,氙和氪气
机译: 回收k和/或氙的方法包括将液体从a-氙富集塔的下部送入冷凝器-蒸发器,并使富氩蒸气与来自富集塔的液体接触。