一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置

摘要

本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机，所述切片机的下方设有废液收集槽，所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置，且回收处理装置位于加工台的下端，所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，有效的解决了切割后的废液无法直接使用，处理需要耗费大量的人力物力，得不偿失，直接排放则会造成资源浪费的问题。