一种提高投入原料准确度和洁净度的管路系统

摘要

本实用新型公开了一种提高投入原料准确度和洁净度的管路系统，包括处理器，吹扫气源，待投入原料的罐体，供应原料的原料池，输送泵，连接罐体与输送泵的第二进料管，及连接输送泵与原料池的第一进料管；所述原料池内设有第一液位计；所述第一进料管上设有一个U形弯头，且在该U形弯头最低处设有排液阀；所述第二进料管上设有一个进液阀，所述吹扫气源通过吹扫气管与第二进料管连通、以将第二进料管内的蓄积液吹入罐体，吹扫气管上设有吹扫气阀；所述排液阀、进液阀、吹扫气阀均为与处理器相连的调节阀。解决现有工艺中半导体高节点对化学品的高洁净高纯要求的问题，提供了一种能够提高投入原料准确度和洁净度的管路系统。