用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统

摘要

本专利公开了一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统。系统中球面反射镜的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上，激光干涉仪发出的发散光线，从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组的折射，入射到球面反射镜上；从球面反射镜反射的光线，再经过待检反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪。本光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，在保证检验精度的同时，可以减小辅助面的口径以及系统的长度。