公开/公告号CN209445154U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 上海航空电器有限公司;
申请/专利号CN201822052929.5
申请日2018-12-07
分类号
代理机构上海世圆知识产权代理有限公司;
代理人顾俊超
地址 201101 上海市闵行区中春路6629号
入库时间 2022-08-22 10:47:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-27
授权
授权
机译: 光学器件的束分布,具有这种束分布光学系统的照明光学器件,具有这种照明光学器件的光学系统以及具有这种光学系统的投影曝光系统
机译: 用于光束整形的光学系统和采用该光学系统的光学系统
机译: 可变光学光学系统,具有该可变光学光学系统的光学器件以及该可变光学光学系统的制造方法