一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头

摘要

本实用新型涉及微型工件表面特征设备技术领域，具体涉及一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头；通过设计有“H”型柔顺机构和压电驱动系统，可以调节的测头系统刚度；通过控制压电驱动装置的工作状态，实现测头系统的刚度调节，可以达到测头系统的各项同性刚度；位移传感器对称分布，测头的刚度特性、结构稳定性和解耦性好。