用于光学测量仪器的温度控制方法和设备及光学测量仪器

摘要

现有的用于光学测量仪器的温度控制设备仅对光源模块进行冷却，无法维持光学测量仪器内其他模块和光路空间的温度稳定，造成测量结果不准确，本发明提出了用于光学测量仪器的温度控制方法和设备及光学测量仪器，其中，该设备包括第一温度控制元件(15)，与光学测量仪器的入射模块(11)导热地耦接；第二温度控制元件(10)，与光学测量仪器的出射模块(9)导热地耦接，它们控制这些模块的温度，避免光源的热量对该些模块造成影响。优选地，还包括，送风装置(4、2、1、7、33、3)，用于在风路上提供温度维持在一定范围内的气流，该风路覆盖了该光学测量仪器中晶圆和测量机构之间的光路空间，从而维持该光路空间的温度稳定。