一种能够改变磁场大小的阴极源

摘要

为了解决永磁场带来的靶材离化后离子的运动轨迹就是固定的，是无法调节的问题，本实用新型提出一种能够改变磁场大小的阴极源，其包括：靶材1、线圈2、可变电源3，其特征在于：靶材1的表面设有线圈2，线圈2的两个自由端分别接入可变电源3的正极和负极。其通过用电磁场替代传统的磁场，并通过增加可变电阻，来改变电源电路中电流的大小，从而改变线圈中电流的大小，最终实现了电磁场的磁场强度的调节。采用这种能够调节电流大小的电磁场，可以根据实际需求调节电磁场的强度，使得阴极源上的靶材在离化后能够实时根据调节好的运动轨迹沉积在基材表面。