预烘烤设备及预烘烤系统

摘要

本实用新型提供一种预烘烤设备及预烘烤系统。其中，预烘烤设备包括：第一加热件、第二加热件以及箱体；箱体形成有用于容纳第一加热件和第二加热件的容纳腔，且第一加热件位于容纳腔沿垂向的底部，第二加热件位于容纳腔沿垂向的顶部，且第一加热件的顶面形成有用于放置基板的安装面。本实用新型还提供一种预烘烤系统，包括基板以及预烘烤设备，基板放置在第一加热件的安装面上。本实用新型提供的预烘烤设备及预烘烤系统，第二加热件可以产生热量，从而提升容纳腔顶部的温度，避免光阻升华物凝结在容纳腔的顶部，进而提高基板及显示设备的良率。