一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置

摘要

本实用新型公开了一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，包括CF₄进气管路、吸附筒一、吸附筒二、再生气体管路、CF₄出气管路、尾气管路、除尘装置、微氧检测仪器，所述CF₄进气管路分别与吸附筒一、吸附筒二的进气口连接，所述吸附筒一、吸附筒二的出气口通过管路与除尘装置连接，所述除尘装置还与所述CF₄出气管路连接，所述再生气体管路分别与吸附筒一、吸附筒二的出气口连接，所述吸附筒一、吸附筒二还与所述尾气管路连接。本实用新型的有益效果：将不能在一般的提纯、分离、精馏系统中除掉的微量氧化性物质分解成为能够与目标产物四氟甲烷实现分离的杂质气体，且能够循环使用，保证生产的连续稳定运行。