一种真空扩散焊散的抽真空装置

摘要

本实用新型公开了一种真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。本抽真空装置为三级抽真空装置，具有良好的抽真空的效果。