一种干式爪型真空泵

摘要

本实用新型公开一种干式爪型真空泵，包括电机、联轴器、泵体以及消声器，所述泵体包括泵壳体、进排气壳体、主动轴、从动轴、主动转子、从动转子、同步齿轮、轴承和动密封，所述泵壳体后端与进排气壳体形成转子腔；所述进排气壳体上设有进气口和排气口，分别与转子腔相连通，所述进气口还接进气管路，所述排气口还与消声器连接，所述进气管路、进气口、转子腔、排气口和消声器形成抽送气体通道，所述抽送气体通道通过磁控溅射的工艺于表面形成WC‑DLC超晶格纳米多层防腐涂层。本实用新型通过上述设计，能够有效阻隔腐蚀性气体对零件表面的腐蚀。