一种热阴极高密度弧光放电离子渗氮设备

摘要

本实用新型涉及一种热阴极高密度弧光放电离子渗氮设备，包括真空室、热阴极、工件架、辅助阳极、热阴极弧光放电电源、热阴极加热电源以及工作偏压电源；所述热阴极、工件架以及辅助阳极均位于真空室内，所述真空室内靠近热阴极的位置处设置有进气管道和加热管，所述辅助阳极与工件架的位置相对应，所述热阴极加热电源与热阴极电性连接并且形成串联回路，所述辅助阳极通过热阴极弧光放电电源与热阴极电性连接，所述工作偏压电源的正极与真空室电性连接、负极与工件架电性连接。本实用新型对渗氮设备进行重新设计，采用弧光放电电源，克服等离子体密度低、渗氮效率低等问题。