CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源

摘要

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，机体外框架(101)的左右两侧分别竖向设置有两块竖向安装板(102)，且竖向安装板(102)的内壁上由下往上平行设置有多组导向组件(103)，每个导向组件(103)包含有两条水平设置的导轨，电源模块(104)的两侧滑动安装于导向组件(103)的导轨上，所述电源模块(104)包含有壳体(1)，水冷组件(2)安装于壳体(1)内。本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉用加热电源，能够根据客户需求进行随意级联扩展，从而有效的降低了其设计制造难度和生产成本，同时便于小型化布局，并且通过水冷方式，大大提高了散热性能，保证了半导体器件始终工作在线形范围内，保证了输出的稳定性。