公开/公告号CN1217235C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 三井化学股份有限公司;
申请/专利号CN02146120.1
申请日2002-10-29
分类号G03F7/20;H01L21/027;
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人戈泊
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 08:57:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-31
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-08-31
授权
授权
2003-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-05-07
公开
公开
机译: 包括保护套的光塑胶片缩微胶片
机译: 包括保护套的光塑胶片缩微胶片
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