一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构

摘要

本实用新型一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构，所述结构包含有加热支撑底板(1)，所述加热支撑底板(1)上设置有加热片(2)，内嵌式载物盘(3)压合在加热片(2)上，所述内嵌式载物盘(3)上粘附有导热硅胶(4)。本实用新型一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构，能够在保证基片粘附的同时、保证其加热均匀性和外形完整性。