一种具有双压力和双流量测试气路结构的滤膜孔径分析仪

摘要

本实用新型公开了一种具有双压力和双流量测试气路结构的滤膜孔径分析仪，双压力传感器和双流量传感器；其中，双压力传感器分别是用于测量高压力的大量程的压力传感器，和用于测量低压力的小量程的压力传感器；双流量传感器分别是用于测量较大流量的大量程的流量传感器，和用于测量较小流量的小量程的流量传感器。滤膜孔径分析仪在测试初始阶段，气路中的气体的压力和流量较小，此时小量程的压力传感器和流量传感器可准确测量出气路中气体的压力和流量。当气路中通入的气体的压力增大到小量程压力传感器的测量极限时，软件自动控制小量程压力传感器保护阀启动，将小量程的压力传感器接出气路。不仅实现了气体高压的精确测量，同时还保护了小量程压力传感器不受损坏。当气路中气体流量增大到小量程流量传感器的测量极限时，软件自动控制小量程流量传感器保护阀打开，以减小流经小量程流量传感器的气流，实现了对小量程流量传感器的保护；此时，大量程流量传感器可准确读取气路气体的流量。该气路结构增大了气路中气体的压力和流量的测量范围，增加了高压段和低压段的压力测量精度，同时实现了较大流量和较小流量的精确测量；另外，在压力较高、流量较大时，保护小量程压力传感器和小量程流量传感器不受损坏。