陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，以重量百分比计，组成元素为：39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni，属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Ni靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层，利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，硬度达到15GPa以上，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。