用于靶材的保护构件和用于在靶材处理期间保护靶材的系统

摘要

本公开内容涉及一种用于靶材的保护构件，和一种用于在靶材处理期间保护靶材的系统。描述一种用于在靶材处理期间保护靶材的保护构件。所述保护构件被定位成覆盖靶材。所述保护构件包括密封件。所述密封件是具有内部空腔的可充气密封件。