公开/公告号CN208156634U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 信利光电股份有限公司;
申请/专利号CN201820678419.6
申请日2018-05-08
分类号
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人邓义华
地址 516600 广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋
入库时间 2022-08-22 07:11:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
授权
授权
机译: 硬掩模组合物,通过使用该硬掩模组合物形成图案的方法以及使用该硬掩模组合物形成的硬掩模
机译: 硬掩模组合物,使用硬掩模组合物形成图案的方法,以及由硬掩模组合物形成的硬掩模
机译: 硬掩模组合物,使用该硬掩模组合物形成图案的方法以及由该硬掩模组合物形成的硬掩模