将普通扫描仪用于精密测量的扫描仪精确标定与修正方法

摘要

本发明方法包括：a.将待测图象和分布在该待测图象四周的标定用精密正交网格与精密线形栅(可省略)排布在普通平板扫描仪的扫描平台上，并规定扫描仪线阵CCD排布方向为X方向，步进电机走步方向为Y方向；b.对所述待测图象和标定用精密正交网格与精密线形栅(可省略)做全场扫描；c.对扫描得到的图象，选择下列一项或几项分项误差进行标定和修正，所述分项误差表述为X-X误差、X-Y误差、Y-Y误差、Y-X误差、行间比例误差、列间比例误差、纵横比例误差、扫描倾角误差、高频抖动误差。本发明扫描图象的几何精度误差仅在2～3微米以内，从而使普通平板扫描仪的几何精度可达到或超过测量型扫描仪，可用于精度要求极高的工程测量。