一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机

摘要

一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，包括具有金属进气管的高真空金属扩散泵、玻璃管道及连接金属进气管和玻璃管道排气端的接驳装置，接驳装置包括金属连接接头、紧压在金属连接接头上部的上压盖、连接在金属连接接头下部的金属连接管及嵌入金属连接接头内的密封组件，金属连接接头、上压盖及密封组件均套装在玻璃管道上；密封组件包括一级密封圈、中间压环、二级密封圈及上压环，上压盖通过紧固件锁紧在金属连接接头上并向下紧压上压环；金属连接管与金属进气管通过哈夫夹密封组件接驳并连通。本实用新型通过金属连接接头、上压盖及密封组件实现玻璃管道与高真空金属扩散泵金属进气管的连通，保证两者之间连接的密封性能。