一种用于晶硅生产的翻片装置及晶硅生产设备

摘要

本申请公开了一种用于晶硅生产的翻片装置及晶硅生产设备，其中，翻片装置包括真空吸附机构、旋转架和驱动机构，所述真空吸附机构设置在所述旋转架上，用以吸附芯片，所述驱动机构的输出端与所述旋转架连接，用以带动所述旋转架转动而翻转被吸附的芯片。而晶硅生产设备包括传输装置和上述翻片装置。本申请涉及晶硅的生产设备，提供了一种用于晶硅生产的翻片装置及晶硅生产设备，能够克服成本高和精度低的问题，提高生产效率。