一种基于容栅的非接触式位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于容栅的非接触式位移传感器，将传统容栅位移传感器的定极板作为静栅单元，将动极板作为动栅单元，与高精度位移传感器集成于读数头中，在结构上相当于读数头与静栅单元组成容栅位移传感器，控制器同时获取容栅位移测量数据和高精度位移测量数据，以容栅的数据作为基准加插高精度位移传感器的位移数据提高测量精度，因此本实用新型既可以做到高精度位移传感器的高速高精度性能，也可以做到容栅位移传感器的绝对值输出数和快速响应功能，实现切换绝对值和非绝对值输出，且本实用新型以电容变化、位移量或磁感为基础测量，对测量环境中的灰尘和强光不敏感，具有很高的可靠性。