一种新型悬丝式可变刚度微纳测头

摘要

本实用新型一种新型悬丝式可变刚度微纳测头包括：测头、测杆、中间体、电容上极板、电容下极板、悬丝、柔性机构、压电驱动装置、基座、动平台、电容数字转换装置、PC机。所述测杆安装在中间体中心；所述中间体通过悬丝固定于动平台中心；所述悬丝一端连接中间体，另一端连接柔性机构；所述基座固定于动平台；所述中间体上表面均布四个电容下极板；所述压电驱动装置固定于柔性机构和基座之间。本实用新型通过压电驱动装置的压电效应，驱动柔性机构发生形变，改变悬丝的张紧程度，进而改变测杆支撑机构的刚度，以满足测量过程变刚度的要求。