公开/公告号CN103411999B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 南京诺威尔光电系统有限公司;
申请/专利号CN201310352096.3
发明设计人 陈力;
申请日2013-08-13
分类号G01N25/72(20060101);
代理机构
代理人
地址 210038 江苏省南京市南京经济技术开发区恒飞路8号501室
入库时间 2022-08-23 09:41:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-27
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 25/72 变更前: 变更后: 申请日:20130813
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-06-15
授权
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 25/72 申请日:20130813
实质审查的生效
2013-11-27
公开
公开
机译: 连续波激光扫描热成像仪和无损检测方法
机译: 连续波激光扫描热成像仪和无损检测方法
机译: 用于对具有表面的半导体晶片进行热退火的线形成像光学系统,包括一次光学系统,二次激光系统,扫描光学系统,热发射检测系统和控制器