一种油冷型单晶炉横向磁场系统

摘要

本实用新型涉及太阳能电池半导体制造技术，旨在提供一种油冷型单晶炉横向磁场系统，包括支架、横梁、耳朵架、磁极、导磁块、油冷系统、电磁控制系统、磁极温度监测系统。本实用新型磁场强度可调、磁极间距可调，可以适用不同炉型；本实用新型重量轻、结构合理，可以在现有单晶炉上快速安装；本实用新型油冷系统设计巧妙，方便后期维修保养；本实用新型有温度监测系统，可以提高设备安全性。