一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置

摘要

本实用新型属于飞秒激光加工技术领域，特别涉及一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置。包括光束扫描系统、光束检测成像系统及控制系统；光束扫描系统包括沿光路依次设置的飞秒激光器、扫描系统及聚焦镜；光束检测成像系统包括光谱仪及CCD；还包括位于光路中的第一半透镜与第二半透镜；光谱仪位于第二半透镜的反射光路中，CCD位于第一半透镜的反射光路中；飞秒激光器、扫描系统光谱仪及CCD均与控制系统连接，控制系统用于接收并分析光谱仪及CCD的数据，根据分析数据调整飞秒激光器及扫描系统的加工工艺参数。实现制孔过程中涂层及过渡层的无损伤加工以及叶片腔体对面壁无损伤加工。