一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构

摘要

超带宽声表面波滤波器在多个领域特别是通信领域具有巨大的需求，高机电耦合系数的谐振器是设计超带宽声表面波滤波器的关键所在。本实用新型提供了一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，结构从上至下包括电极层1、压电基底层2、衬底层3。所述电极层材料为金（Au），铝（Al）或铜（Cu）。所述压电基底层材料为θ度Y切X传掺杂钛酸铅的铌铟镁酸铅三元铁电晶体（YX‑PIMN‑