合成炉喷嘴和三氯氢硅合成炉

摘要

本实用新型涉及合成炉技术领域，是一种合成炉喷嘴和三氯氢硅合成炉；该合成炉喷嘴包括喷管和开口朝下的压帽；在喷管的中部外侧一体固定有环台，压帽的下部内侧和环台的外侧固定安装在一起，喷管的上部分别与压帽的顶部和侧部有间距，环台、喷管与压帽之间形成密封喷射腔，在压帽的中部均布有至少两个与密封喷射腔相通的倾斜朝下的喷射口。本实用新型结构合理而紧凑，使用方便，通过合成炉本体、分隔板和合成炉喷嘴的配合使用，实现合成三氯氢硅的目的，具有安全可靠和供气均匀的特点，防止了合成炉喷嘴的堵塞和漏料的发生，降低了原料的浪费，延长了设备的使用寿命，提高了合成效率，大大降低了生产成本，保证了产品品质。