一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统

摘要

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空阀和第二高真空阀；所述真空室的两侧对称设置有第一泵室和第二泵室；所述第一高真空泵设置于所述第一泵室内；所述第二高真空泵设置于所述第二泵室内；所述第一高真空阀设置于所述真空室内靠近第一高真空泵的通道处；所述第二高真空阀设置于所述真空室内靠近第二高真空泵的通道处。本实用新型因为采用了双高真空泵和双阀设计，整体抽气速度提高了一倍。同时采用的是左右对称结构设计使加入到真空室内的工艺气体从左右两边均匀抽走，能改善镀膜膜层的成膜速率和均匀性，提高了成品产出率。