一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统

摘要

本实用新型提供一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统，涉及半导体气体防护技术领域，该气体泄漏安全系统包括尾气处理设备、备用管和气体泄漏安全装置，该气体泄漏安全装置包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。相较于现有技术，本实用新型提供的一种气体泄漏安全装置，能够及时发现泄漏情况并能够阻止泄漏气体向外扩散，提高了生产安全性。