新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统

摘要

本实用新型公开了一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统，包括固定源瓶、进气管、出气管、供液源瓶及挡板。进气管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其内部且靠近其底部；出气管的一端位于固定源瓶的外部，另一端位于其内部且靠近其顶部；供液源瓶位于固定源瓶上方，通过加液管道与其连通，且加液管道的底端靠近其底部；挡板设于固定源瓶的内部，且进气管与出气管位于其一侧、加液管道位于其另一侧；挡板的顶边高于加液管道的底端，挡板的侧边与固定源瓶的侧壁连接，挡板的底边与固定源瓶的底部连接，且挡板的底部设有通液孔。本实用新型中的供液源瓶能够自动地为固定源瓶供给源，使得液位保持恒定，解决了现有的扩散源瓶装置不便于换源的问题。