一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置

摘要

本实用新型公开一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，本实用新型通过提前对真空室内抽真空，当电子加速器内的真空度不足时，打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室，刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之间存在真空度差，电子加速器内的气体会进入真空室进而提升电子加速器的真空度。