一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置

摘要

本实用新型提供了一种运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，设置在晶元真空吸盘的下方，包括托盘，托盘上端面设置有气缸、弧形槽和顶销套，气缸连接有传动套，传动套位于弧形槽上方，顶销套底部设置有晶元顶销轴承，晶元顶销轴承通过弹簧连接晶元顶销下端，晶元顶销的上端由晶元真空吸盘上预设的通孔穿出，托盘下端面通过转盘轴承连接有转盘，转盘的上端面设置有传动柱，传动柱穿过弧形槽且与传动套连接，转盘下端面边缘设置有钢丝绳槽，钢丝绳槽内设置有钢丝绳，钢丝绳的一端与转盘固定连接，钢丝绳的另一端连接弹簧上端。本实用新型提供的运用在晶元真空吸盘中的晶元顶销装置，改良了顶销的驱动方法，节约了占据空间，保证了顶销动作的同时性。