一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙；可有效消除和减轻用于监测和控制盘面形常规设备和工艺的某些缺点，减少熟练工人依赖。