一种PHOTO离心机挡盖

摘要

本实用新型公开了一种PHOTO离心机挡盖，用于离心机的气流导向，包括挡盖的盖体；挡盖的盖体上径向分布有若干个气流导向孔；气流导向孔的数量为9个，沿挡盖盖体的内面居中径向等间隔分布；气流导向孔均为直径在0.8cm‑1.2cm范围之间的通孔。通过对挡盖气流导向孔的直径以及位置分布的变动，有效的控制气流负压数值及对匀胶过程中胶层的分布，通过改造后晶圆匀胶后uniformity数值从2.8％下降至1％以内，大大提高了晶圆表层涂胶后胶层的均匀性，使在图形复刻曝光过程中能更好更精确的对MASK即掩膜版进行图形复刻。