一种三级增压泵与水环泵组合的真空泵装置

摘要

一种三级增压泵与水环泵组合的真空泵装置，包括与产生废气处相连通的B1增压泵，B1增压泵输出端依次连接B2增压泵、B3增压泵、C1冷凝器以及水环泵机组，水环泵机组各水环泵排气口与废气出口相连，水环泵机组为W4水环泵机组；在水环泵的工作模式选定并确认后，启动真空系统；各级真空泵按照预先设定的真空压力值顺序启停各级真空泵，直至达到工艺要求的真空度；本实用新型具有满足精炼工艺，同时满足高效节能的需求的特点。