一种基于多面棱镜与振镜高速密集打孔光学系统

摘要

本实用新型公开了一种基于多面棱镜与振镜高速密集打孔光学系统，包括一次扩束组件、二次扩束组件以及反射打孔组件；一次扩束组件的负焦扩束镜倾斜设置，正焦扩束镜设在负焦扩束镜透射光侧下方；二次扩束组件包括聚焦镜、棱镜、两片后扩束镜；聚焦镜同轴设在正焦扩束镜的下方，棱镜的分光棱面水平设置；两片后扩束镜对称设在多面棱镜的上方，且两片后扩束镜的中心轴交点位于多面棱镜分光棱面上；反射打孔组件包括的四片反射镜呈两组对称设置，其中一组的两片反射镜分别与两片后扩束镜的透射光束呈45度倾斜设置；每组一侧的反射镜侧均设有振镜，振镜的扫描光束呈竖直设置，振镜扫描光束的下方设有f‑θ镜。本实用新型实现了激光器高速密集打孔。