一种微位移放大器及纳米定位装置

摘要

本实用新型公开了一种微位移放大器，包括输入平台及固定底座，输入平台的同侧对称的连接有一对输入连杆，两根输入连杆的另一端分别与第一杠杆及第二杠杆的首端连接，第一杠杆及第二杠杆的中段分别通过柔性铰链与固定底座的两侧位置连接，第一杠杆及第二杠杆的尾端分别通过柔性铰链与第三杠杆及第四杠杆的中段连接，第三杠杆及第四杠杆的首端分别通过柔性铰链与固定底座的两侧顶端连接，第三杠杆及第四杠杆的尾端分别通过柔性铰链与一对输出连杆连接，两根输出杠杆的另一端均位置对称的与输出平台连接。这种微位移放大器，有效地解决了现有的纳米定位装置行程小精度差，结构复杂的问题。本实用新型还公开了一种纳米定位装置。