法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A63B21/055 授权公告日:20171222 终止日期:20180401 申请日:20170401
专利权的终止
2017-12-22
授权
授权
机译: 光阻性树脂和稀释剂,用于消光具有改善各种光阻和较低反光性膜的溶解度和EBR特性的抗反光膜
机译: 用于光阻的底部抗反射涂层材料组合物以及使用该材料形成光阻图案的方法
机译: 用于光阻的底部抗反射涂层材料组合物以及使用该材料形成光阻图案的方法